簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Ying-Sheng Huang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="離子束濺鍍"


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    1

    以反應式離子束濺鍍法沉積含氮p型氧化鋅薄膜
    • 電子工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 陳鈞瑋 指導教授: 趙良君
    • 本實驗使用反應式離子束濺鍍法,以氧化鋅為緩衝層並於300度C下以石英及玻璃基板沉積含氮p型氧化鋅薄膜。XRD分析以氮流量0.5及5 sccm沉積之薄膜,5 sccm其(002)繞射峰值往小角度偏移而…
    • 點閱:224下載:1
    • 全文公開日期 2013/06/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅鎂薄膜
    • 電子工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 胡晧霆 指導教授: 趙良君
    • 使用反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅鎂薄膜已成功的被製作。本論文將使用反應氣體氧氣參與離子束濺鍍Mg0.1Zn0.9金屬靶材,以(111)矽基板溫度360、400及500℃成長氧化鋅鎂薄膜MgxZn1-…
    • 點閱:256下載:1
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