檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Ying-Sheng Huang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="離子束濺鍍"
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法,以氧化鋅為緩衝層並於300度C下以石英及玻璃基板沉積含氮p型氧化鋅薄膜。XRD分析以氮流量0.5及5 sccm沉積之薄膜,5 sccm其(002)繞射峰值往小角度偏移而…
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使用反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅鎂薄膜已成功的被製作。本論文將使用反應氣體氧氣參與離子束濺鍍Mg0.1Zn0.9金屬靶材,以(111)矽基板溫度360、400及500℃成長氧化鋅鎂薄膜MgxZn1-…